SSH IEC 62047-36:2019 ED1

Pajisje gjysmëpërçuese - Pajisjet mikro-elektromekanike - Pjesa 36: Metodat e provës mjedisore dhe të rezistencës dielektrike për shtresat e holla piezoelektrike të MEMS-it

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 36: Environmental and dielectric withstand test methods for MEMS piezoelectric thin films

Scope

IEC 62047-36:2019 (E) specifikon metodat e provës për vlerësimin e qëndrueshmërisë së materialeve piezoelektrike të filmit të hollë MEMS nën stresin mjedisor të temperaturës dhe lagështisë dhe nën stresin elektrik, si dhe kushtet e provës për vlerësimin e duhur të cilësisë. Në mënyrë të veçantë, ky dokument specifikon metodat e provës dhe kushtet e provës për matjen e qëndrueshmërisë së një DUT në kushtet e temperaturës dhe lagështisë dhe tensioneve të aplikuara. Zbatohet më tej për vlerësimet e vetive piezoelektrike të kundërta në filmat e hollë piezoelektrikë të formuar kryesisht në nënshtresa silikoni, d.m.th., filma të hollë piezoelektrikë të përdorur si aktivizues. Ky dokument nuk mbulon vlerësimet e besueshmërisë, të tilla si metodat e parashikimit të jetëgjatësisë së një filmi të hollë piezoelektrik bazuar në një shpërndarje Weibull.