Publikuar
ISO 16700:2016 specifikon një metodë për kalibrimin e zmadhimit të imazheve të krijuara nga një mikroskop elektronik skanues (SEM) duke përdorur një material të përshtatshëm referimi. Kjo metodë është e kufizuar në zmadhimet e përcaktuara nga diapazoni i madhësisë së disponueshme të strukturave në materialin referues kalibrues. Nuk zbatohet për matjen e dedikuar të dimensionit kritik SEM
PUBLISHED
SSH ISO 16700:2004
PUBLISHED
SSH ISO 16700:2016
60.60
Standard published
31 tet 2023